반도체 제조현장에서 운용되고 있는 반도체 제조 장비를 제조 현장에서 설치부터 가동 시 상시 최적의 운용상태가 되도록 반도체 장비를 점검하고, 고장을 방지하기 위한 사전 예방활동, 이는 오늘날 반도체 제조현장에서 가장 중요한 유지보수 활동의 하나입니다.

이에는 PLC 자동제어와 산업용 로봇을 기반으로 하는 자동화일반, 공유압일반, 반도체장비보전일반 등의 여러 영역이 필요합니다.

특히, MResearch는 반도체 설비에있어 케미컬중앙공급시스템(CGSS; Central Gas Supply System), 케미컬공급장비(CDM; Chemical Delivery Module), 케미컬공급밸브박스(VMB; Valve Manifold Box), 브랜치박스(BB; Branch Box), 가스분배박스(GDB; Gas Distribution Box), 공정용가스안전공급장치(GC; Gas Cabinet), 자동가스모니터링시스템(AGMS; Automatic Gas Monitoring System), 가스충진용기(GC; Gas Cylinder) 등의 가스제어부와 각종 밸브류, 유량제어시스템 기타 플라즈마소스 등 대부분의 반도체 설비들의 오버홀 서비스를 제공합니다.